Zweck dieser Richtlinie ist die Zusammenfassung des Wissens bez\u00fcglich der Planung, dem Bau, dem Betrieb und der \u00dcberwachung von Wasseraufbereitungsanlagen zur Erzeugung und Verteilung von Reinstwasser. Diese Richtlinie gilt f\u00fcr die Qualit\u00e4tsanforderungen, die Erzeugung und die Versorgung mit Reinstwasser von Prozessen mit hohen Reinheitsanforderungen, wie sie in der Reinraumtechnik verwendet werden. In der Kraftwerkstechnik und Kernkraftwerkstechnik werden \u00e4hnliche Prozesse und Systeme verwendet, diese sind aber nicht Gegenstand dieser Richtlinie, da sie an anderer Stelle beschrieben werden. Das Reinstwasser wird in verschiedenen Anwendungen genutzt einerseits f\u00fcr Reinigungsprozesse und andererseits zur Verd\u00fcnnung von konzentrierten Reinstchemikalien auf Gebrauchsl\u00f6sungskonzentrationen, oder es geht in das herzustellende Produkt \u00fcber. So werden z. B. kontaminierte Oberfl\u00e4chen vor der Durchf\u00fchrung sensibler Arbeitsprozesse mit Reinstwasser gereinigt. An das hierzu eingesetzte Reinstwasser werden hohe Anforderungen bez\u00fcglich partikul\u00e4rer, chemischer und biologischer Reinheit bei der Anwendung gestellt. Im Anwendungsbereich der technischen Anwendungen, insbesondere der Mikroelektronik\/ Halbleitertechnik, liegt der Schwerpunkt, bedingt durch die Verkleinerung der Strukturen, auf der Entfernung m\u00f6glichst aller partikul\u00e4ren, chemischen und biologischen Kontaminationen. Die zur Anwendung kommenden Reinstwassersysteme strukturieren sich in: Aufbereitung einschlie\u00dflich Vorbehandlung Speicherung und Verteilung Nutzung einschlie\u00dflich Qualit\u00e4tsmonitoring Die f\u00fcr die Reinstwasseraufbereitung notwendigen Verfahrensschritte und somit der Systemaufbau werden bestimmt aus der vorliegenden, durch \u00f6rtliche Gegebenheiten gepr\u00e4gten Rohwasseranalyse und aus der im konkreten Anwendungsfall vorgegebenen Reinstwasserzielanalyse. Umwelttechnische Rahmenbedingungen, z. B. die Forderung nach einem verminderten Chemikalieneinsatz sowie die ortsspezifischen Kosten f\u00fcr Wasser und andere Betriebskosten, beeinflussen ebenfalls die Auswahl der einzelnen Verfahrensschritte. Die Speicherung und Verteilung wird bestimmt durch die \u00f6rtlichen Aufstellungsgegebenheiten und den anzuschlie\u00dfenden Nutzungseinheiten. Allgemein gilt, dass aus einer Vielfalt von L\u00f6sungsm\u00f6glichkeiten eine wirtschaftliche L\u00f6sung erarbeitet werden muss.*www.vdi.de\/2083<\/p>\n","protected":false},"excerpt":{"rendered":"
Reinraumtechnik – Qualit\u00e4t, Erzeugung und Verteilung von Reinstwasser – Mikroelektronik und andere technische Anwendungen<\/b><\/p>\n\n\n
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